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大國芯工 第一六四章 KrF 248nm紫外光刻機(jī)

“岸然,這事我必須當(dāng)面和你說清楚,這七套設(shè)備雖然都是1.5微米制造工藝,不過其中有四臺(tái),和其他的有些區(qū)別?!?br/>  
  王岸然一下來了興致。
  
  “有什么不一樣?”
  
  “有三臺(tái)使用的是高壓汞燈i線365納米光源,而另外四臺(tái)……”
  
  “張教授,你倒是說啊!”
  
  張大京嘴角帶著笑,指著王岸然說道:“岸然,我一直以為你比別的年輕人沉得住氣,現(xiàn)在看來,只是沒找到你感興趣的東西啊!”
  
  王岸然白了張大京一眼,說道:“張教授,你再不說,我可要翻臉了?。 ?br/>  
  “好!好!”張大京搖搖頭,說道:“岸然,有四臺(tái)使用的是krf248納米準(zhǔn)分子激光光源?!?br/>  
  額,王岸然感覺呼吸都有些急促,krf準(zhǔn)分子激光光源有兩種波長,一種是248納米,另外一種就是193納米。
  
  這跟高壓汞燈光源不一樣的是,高壓汞燈光源還屬于可見光,而krf準(zhǔn)分子激光已經(jīng)邁入紫外線的范疇。
  
  雖然國內(nèi)早已經(jīng)開始了krf準(zhǔn)分子激光的研究,而且取得了相應(yīng)的成果,不過適用于光刻的248納米光源,要求的是百焦級(jí)別的高功率,以及粒子均勻性要在千分之零點(diǎn)三的范圍內(nèi)。
  
  門檻就在這里。
  
  事實(shí)上,ibm早在1980年就將krf準(zhǔn)分子激光光源用于半導(dǎo)體光刻,而十五年過后,對(duì)國內(nèi)來說,還是一道深不可測(cè)的技術(shù)門檻。
  
  沒想到,這玩意竟然被張大京搞來了……
  
  王黯然忙問道:“張教授,我記得激光光源是瓦森納協(xié)議中禁止貿(mào)易的,你怎么……?”
  
  “岸然,你錯(cuò)了,瓦森納協(xié)議中限制出口的列表,今年沒有把248納米krf列入其中。
  
  不過需要說明的是,這款激光器是不可以用作軍事用途的,所以,他們會(huì)派人監(jiān)管,并定期檢查的。”
  
  自己的消息還是滯后了??!
  
  王岸然搖搖頭,如果248納米光刻機(jī)解除禁運(yùn)的話,國外已經(jīng)在193納米光刻機(jī)的應(yīng)用上有了長足的進(jìn)步,甚至在深紫光上有了突破。
  
  原因很簡單,瓦森納協(xié)議的核心就是n-2政策,西方審批出口的依據(jù)就是,對(duì)華出口的設(shè)備必須是落后兩代。
  
  而實(shí)際上,審批程序很復(fù)雜,等真拿到設(shè)備的時(shí)候,差不多已經(jīng)是第三代的了,基本上比起國際主流的技術(shù)要落后10年左右。
  
  這也沒辦法,王岸然喝了一口水,他想到一件事,忙問道:“張教授,這條芯片生產(chǎn)線,可以……”
  
  張大京打斷王岸然的話,說道:“岸然,這是我另外要說的一件事,248納米激光光源光刻機(jī),可以經(jīng)過改造,用于1微米制程的芯片生產(chǎn),不過,涉及一系列復(fù)雜的光學(xué)曝光技術(shù),這些專利是要折算成資金入股的!”
  
  這個(gè)王岸然沒有意見,如果能改造成沉浸式光刻機(jī),320納米制程都沒問題。
  
  張大京拿出一份文件遞給王岸然。
  
  “股權(quán)結(jié)構(gòu)?”
  
  張大京點(diǎn)點(diǎn)頭。
  
  王岸然翻開一看,愣住了。
  
  7億美金只占了35%的股份,張大京團(tuán)隊(duì)以技術(shù)入股,占15%的股份,張大京自領(lǐng)5%的干股,后面跟著一大串投資人。
  
  王岸然還看到了老伙計(jì)高盛,還有新加坡投資集團(tuán),灣島國際等,這么多家,一共才出資3億美元,加部分專利授權(quán),占股45%。
  
  “岸然,你是知道的,拉高盛進(jìn)來,也是為我們的設(shè)備審批能夠快一點(diǎn),畢竟高盛在公關(guān)上還是有一套的?!?br/>  
  王岸然倒不是為高盛入伙頭疼,他是為華芯科技出了資金的大頭,占的股份確只有三分之一多一點(diǎn)。
  
  唯一讓王岸然有些安慰的,就是自己仍然是這家公司最大的股東。
  
  因?yàn)榍懊嬉呀?jīng)承諾,自己的股份,投票權(quán)已經(jīng)交給張大京,而張大京的團(tuán)隊(duì)加上張大京自己的有20%的股份。
  
  加在一起就是55%的股份,完全可以讓張大京在新公司說話能算數(shù)。
  
  可華芯科技也太虧了吧!
  
  “可誰讓自己沒有技術(shù)呢!活該被宰。”
  
  王岸然搖搖頭,這個(gè)時(shí)候想跟人家玩,不出點(diǎn)見面禮肯定是不行的。
  
  “岸然,還有一點(diǎn)我需要明確一下,一是員工股票池,這是需要各股東按比例出的,現(xiàn)在暫定的是3%
  
  另外就是,這家公司最終是要上市!”
  
  王岸然點(diǎn)點(diǎn)頭,張大京拉了這么多的資本進(jìn)來,而資本是追求利潤的,不上市,怎么把股份套現(xiàn)……
  
  “張教授,關(guān)于專利入股的事,我需要我的團(tuán)隊(duì)評(píng)估一下各個(gè)專利的價(jià)值,其他的,我這邊沒有問題。對(duì)了,張教授,廠房定了沒有?”
  
  “還沒有,我們的人正在和港府協(xié)調(diào),目前來看,還沒有找到合適的地皮?!?br/>
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