在德州儀器折騰著消化華芯科技的技術(shù)成果之時,華芯科技的一項工作,讓王岸然深感憂慮。
那就是ibm一號芯片生產(chǎn)線的拆卸繪制,歷時近四個月,整個拆卸工作的完成進度尚不足50%。
一個拆卸繪制工作,進展都這么困難,而且拆繪團隊目前只是先把容易的先拆卸下來,對零件進行編號,繪制圖紙和材料說明。
而一些難的地方,甚至動都沒敢動,比如,鏡片組、氣動軸承。伺服補償系統(tǒng)等。
在王岸然一再保證,拆壞了不用你們賠,還是進展緩慢。
問題的關(guān)鍵是,這些核心的組建,大部分功能區(qū)都是閉環(huán)密封,你就是想拆卸都找不到螺絲卡扣,唯一的辦法就是暴力拆卸。
可暴力拆卸之后,想還原基本上是不可能了,幾千萬的設(shè)備,誰也不敢開第一刀。
為此王岸然只好放下手上的事,親自來坐鎮(zhèn)。
這次是伺服補償器的拆除,在光刻過程中伺服補償器起著至關(guān)重要的作用。
原因顯而易見,晶片要加工成芯片,需要經(jīng)過多次光刻,物理材料沉淀,蝕刻,清洗等工序,沉淀、蝕刻、清洗等工序?qū)示炔⒉幻舾?,但多道光刻就涉及到一個難度非常高的技術(shù)難題。
那就是對準。
掩膜版與晶片之間空間位置,在多次光刻過程中,允許偏差在1微米以內(nèi),超高這個偏差,光刻機的鏡頭將無法完成對準校正。
而1微米有多長?如果你有一把快刀,能把頭發(fā)絲在直徑上分成五十分,差不多就是五十分之一的樣子。
要檢測這個長度很簡單,涉及一個光線杠桿的原理,不過想要調(diào)整位置,那就難了,而補償系統(tǒng)則是運用一系列算法、實驗數(shù)據(jù)等,對平臺一次位移不到位施加的反向作用力,并做到精準定位。
毫無疑問,這是一項需要攻關(guān)的技術(shù),而在王岸然計劃中的雙工臺伺服補償系統(tǒng),難度是這個的百倍。
還沒學(xué)會走,王岸然自然不會指望能跑,所以這第一步至關(guān)重要。
技術(shù)負責(zé)人左太行設(shè)計了一套拆除方案,核心就是請八級銼工,用手工銼刀將表面金屬一層層的銼掉,然后打開內(nèi)部結(jié)果。
王岸然同意了這個方案。
“王總,我真的安排秦師傅開始了??!”
王岸然擺擺手,說道:“放心,我肯定的再重復(fù)一次,銼壞了不用你賠。”
左太行搖搖頭,苦笑道:“王總,就算你讓我賠,我也賠不起啊,這一套系統(tǒng)可是幾百萬美元呢,關(guān)鍵是想買也不一定買的到。”
王岸然過來就是為他們打氣的,這一行回來,王岸然的心情很是不好。
在芯片加工廠的辦公室,王岸然煩躁的點了一支香煙,抽了半支,又將煙頭掐滅在煙灰缸里。
1.5微米制作工藝的芯片生產(chǎn)線,現(xiàn)在繪制都這么艱難,那么仿制成功要等到何年何月,最為關(guān)鍵的是,華芯科技遞交給官方,要求主導(dǎo)光刻機的研發(fā)工作的項目建議書,已經(jīng)好幾個月了,都沒有得到回復(fù),這讓王岸然心底頗有些怨言。
沒有官方的支持,王岸然哪知道,現(xiàn)在的中國,那些企業(yè)在鏡片上面比較強,又有哪些企業(yè)在精密加工上面有足夠的技術(shù)積累。